Aufrufe
vor 1 Jahr

antriebstechnik 4/2017

antriebstechnik 4/2017

Mit High-Speed durch die

Mit High-Speed durch die Qualitäts kontrolle Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen Viele großflächige Objekte müssen bei einer Qualitätskontrolle auf winzige Details untersucht werden, die nur unter dem Mikroskop erkennbar sind. In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des Miniaturisierungsgrades besonders groß. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können jedoch nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Der Einsatz von Hochdurchsatz-Mikroskopiesystemen soll jetzt Abhilfe schaffen. Dipl.-Ing. Dipl.-Wirt. Ing. Friedrich Schenk ist wissenschaftlicher Mitarbeiter beim Fraunhofer IPT in Aachen; Dipl.-Phys. Steffen Arnold ist Leiter Markt und Produkte bei der Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG in Karlsruhe; Ellen-Christine Reiff, M.A. ist Fachjournalistin beim Redaktionsbüro Stutensee in Stutensee Sowohl in der Elektronik- und Halbleiterfertigung als auch in der Biotechnologie oder Pharmazie ist das Problem bekannt: Bei großflächigen Proben wie Platinen und Mikrotiterplatten dauern mikroskopische Aufnahmeprozesse bei Vergrößerungen oft lange, denn bis zu mehrere Zehntausend Einzelaufnahmen müssen erstellt und ausgewertet werden, wobei der Probentisch das Objekt für jede Einzelaufnahme exakt positionieren muss. Aus Zeitgründen verzichten viele dann auf eine 100-Prozent-Prüfung und geben sich mit Stichprobenuntersuchungen zufrieden, testen also nur an einigen ausgewählten Stellen. Jetzt hat das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT einen neuen Aufnahmeprozess entwickelt, mit dem großflächige Objekte in Sekundenschnelle mikroskopiert werden können. Erstmals wird so eine mikroskopische 100- Prozent-Prüfung im industriellen Umfeld möglich. Messen On-the-fly für hohe Bildraten Dabei bewegt der Tisch das Objekt im Gegensatz zum herkömmlichen „Stop-and-Go“-Betrieb kontinuierlich mit konstanter Verfahrgeschwindigkeit während der Aufnahme. Die Probe kann dadurch mit hohen Bildraten – je nach Kamera mit mehr als 100 fps (frames per second/ Bilder pro Sekunde) – digitalisiert werden. Da das Objekt dabei nur kurz mit einem Blitz beleuchtet ist, ist die Aufnahme zudem frei von Bewegungsunschärfe. Der zeitoptimierte Scanprozess ist mit einem echtzeitfähigen Datenhandling und Bildverarbeitungsschritten kombiniert. Selbst rechenintensive Aufgaben wie Stitching-Prozesse laufen nahezu ohne Verzögerung ab. Durch die hohe Rechenleistung des Systems, der optimierten Software sowie dem Einsatz der entsprechenden Hardware lassen sich Einzelaufnahmen nahtlos zum Gesamtbild zusammenfügen, noch während die Messung läuft. 58 antriebstechnik 4/2017

ELEKTROMOTOREN 02 Der prinzipielle Aufbau des modular aufgebauten Hochgeschwindkeitsmikroskops a b 01 Hochdurchsatz-Mikroskopiesystem: Großflächige Objekte können schnell mikroskopiert werden 03 Bei großen Wafern (a) oder Mikrotiterplatten (b) dauerten mikroskopische Aufnahmeprozesse bei hohen Vergrößerungen oftmals zu lange. Aufgrund neuer Hochgeschwindigkeitsmikroskope hat sich das nun geändert © creart.de Wir stellen aus: Hannover Messe 2017 24. - 28.04.2017 Halle 25, Stand C 14 Motoren nach Maß… Drehstrommotoren IP 55 IE 1, IE 2, IE 3 Permanentmagneterregte Drehstrommotoren Drehstrommotoren IP 23 Drehstrom- Schleifringläufermotoren Drehstrom-Servomotoren Frequenzregelbare Drehstrommotoren Wassergekühlte Drehstrommotoren Einphasenmotoren Fahr- und Hebezeugmotoren Flachmotoren Gleichstrommotoren IP 44/23s Positionierantriebe Reluktanzmotoren Schiffsmotoren Tauchmotoren Topfmotoren Außenläufermotoren EMOD Motoren GmbH · Elektromotorenfabrik Zur Kuppe 1 · 36364 Bad Salzschlirf · Germany Fon: +49664851-0 · Fax: +49664851-143 info@emod-motoren.de · www.emod-motoren.de …die treibende Kraft

Aktuelle Ausgabe