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antriebstechnik 10/2021

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antriebstechnik 10/2021

LINEARTECHNIK

LINEARTECHNIK µm-Feedback mittels Linearmaßstab betrieben werden kann. Elger Matthes betont: „Zum Glück haben wir für diese Aufgaben in unserer Unternehmensgruppe die notwendige Kompetenz für eine Sonderentwicklung des Kugelgewindetriebs.“ KUGELGEWINDETRIEB ERREICHT AUCH IM VAKUUM HOHE GESCHWINDIGKEITEN Ein wesentlicher Bestandteil der Lineartische ist ein Sonder- Kugelgewindetrieb, um einerseits für Vakuum ungewöhnlich schnell (bis 50 mm/s) und mit einer bislang unerreichten Lebensdauer bis zu 5 km trocken zu verfahren. Beim Einsatz von Ultrahochvakuumschmierstoffen erhöht sich die erreichbare Lebensdauer auf mehrere 100 km. Bei höheren Partialdrücken bis 10 -6 mbar können durch die für diesen Bereich verfügbaren besseren Schmierstoffe und haltbareren Materialien im Vakuum auch Strecken von mehreren 1 000 km erreicht werden. Entwickelt wurde die Komponente von der August Steinmeyer GmbH & Co. KG. „Mit Keramikkugeln, einer Beschichtung der Laufbahnen, einem speziellen Gewindeschleifverfahren sowie einer optimierten Umlenkung lassen sich auch ohne Schmierung gute Laufeigenschaften des Kugelgewindetriebes erreichen“, erklärt Wolfgang Klöblen, Entwicklungsleiter bei August Steinmeyer. Neben der individuellen Materialauswahl und Vakuumschmierung kann das Positioniersystem von Steinmeyer Mechatronik optional mit einer Piezozangenbremse ausgestattet werden, um die Stabilität im Nanometerbereich trotz hoher Lasten sicherzustellen. Darüber hinaus ermöglichen Anpassungen an die Einbausituation in der Kammer ein individuelles Kundenbohrbild, spezifische Adapterteile und Kabelführungen sorgen für eine bedarfsgerechte Lösung. BREITES ANWENDUNGSSPEKTRUM Anwendungen finden sich unter anderem im Bereich der Halbleiterfertigung, dort können die Positioniersysteme in Prozessen mit extrem ultravioletter Strahlung zum Einsatz kommen, z. B. zur Strahlformung für Belichtungsprozesse sowie zur Oberflächenanalyse und Sensorpositionierung. In der Massenspektrometrie können sie zur Identifikation von Elementen oder Molekülen für Wirkstoffzusammensetzungen oder zur Detektion von Kampfmitteln dienen. In der OLED-Herstellung sind sie für Beschichtungsprozesse sowie Schichtdicken- und Schichtratenmessungen verwendbar. Weitere Anwendungsbereiche finden sich in der optischen Industrie, in der Grundlagenforschung sowie in der Labortechnik und Analytik. Fotos: Aufmacher: August Steinmeyer GmbH & Co. KG, 01: Gorodenkoff – stock.adobe.com www.steinmeyer.com DIE IDEE KISSsoft AG A Gleason Company T. +41 55 254 20 50 info@KISSsoft.com KISSsoft Features ▪ ▪ Kollisionsprüfung beim Honen und „Power Skiven“ ▪ Import des Messgitters für Stirnradflanken ▪ ▪ NEU Release 2021 Lagerberechnung mit innerer Geometrie in der „SKF Cloud“ Systemzuverlässigkeit auf einen Blick gemäss AGMA 6006-B20 Varianten von Verzahnungsmodifikationen vergleichen Kostenlose Testversion unter www.KISSsoft.com „Positionieranwendungen im Ultrahochvakuum erfordern Komponenten, Materialien und Schmierstoffe, die besonderen Anforderungen gerecht werden. Wir bieten Sonder-Kugelgewindetriebe, um im Vakuum nicht nur besonders schnell, sondern auch mit einer bislang unerreichten Genauigkeit und Lebensdauer zu verfahren. Möglich wird das durch den Einsatz von Keramikkugeln, beschichteten Laufbahnen, einem speziellen Gewindeschleifverfahren sowie einer optimierten Umlenkung.“ Wolfgang Klöblen, Entwicklungsleiter bei August Steinmeyer GmbH & Co. KG, Albstadt 20 antriebstechnik 2021/10 www.antriebstechnik.de Antriebstechnik_KISSsoft_Release2021_90x130mm.indd 1 19.05.2021 08:13:08

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