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antriebstechnik 10/2021

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antriebstechnik 10/2021

LINEARTECHNIK

LINEARTECHNIK MIKROTECHNIK PRÄZISE POSITIONIEREN IM ULTRAHOCHVAKUUM Positioniersysteme in anspruchsvollen Vakuum-Anwendungen unter ultraviolette Strahlung erfordern schnelle und robuste Antriebskomponenten. Die Kugel - gewindetriebe von Steinmeyer für angewandte Mikrotechnik erreichen bis zu 50mm/s und eignen sich mittels spezialisierter Schmiermittel auch für Langzeitaufgaben. Wolfgang Klöblen, Entwicklungsleiter bei der August Steinmeyer GmbH & Co. KG in Albstadt 18 antriebstechnik 2021/10 www.antriebstechnik.de

Die Positionierexperten von August Steinmeyer haben Kugelgewindetriebe für die Anwendung im Ultrahochvakuum entwickelt. Diese kommen in einer universellen Reihe von Lineartischen für ein neuartiges Bildgebungsverfahren mit 30 nm Auflösung zur Anwendung. Dafür waren mehrere Positioniersysteme für extreme Stillstandsstabilität von 10 nm gefordert. Ein Kugelgewindetrieb macht die Positioniertechnik besonders stabil und präzise – je nach Auslegung auch schnell und langlebig. Die Systeme kamen am Paul Scherrer Institut (PSI) zum Einsatz und haben dort die anspruchsvollen Erwartungen voll erfüllt. Die Technologie deckt ein breites Anwendungsspektrum ab: von der Forschung über die Medizintechnik bis hin zur Halbleitertechnik. „Positionieren im Vakuum ist eine besondere Herausforderung und bedarf geeigneter Materialien, Komponenten und Schmierstoffe“, erklärt Elger Matthes, Leiter Produktmanagement bei der Steinmeyer Mechatronik GmbH, dem Kompetenzzentrum für Positioniersysteme in der Steinmeyer-Gruppe. Das Unternehmen hat für anspruchsvolle Vakuum-Anwendungen unter UV, HV, UHV und auch EUV eine Reihe neuer Positioniersysteme entwickelt, die sich für einen Druckbereich von 10 -11 mbar und eine maximale Ausheiztemperatur von 120 °C eignen. Auch werden wegen der sehr niedrigen Ausgasung und Partikelarmut die Anforderungen an einen Einsatz unter extrem ultravioletter Strahlung erfüllt. Die Achsen sind in den Größen LA80, LA95, LA170 erhältlich und für Lasten bis 20 kg im Vertikalbetrieb ausgelegt. Mit einer besonders schnellen Transportachse für die Probenzuführung werden Hublängen bis 500 mm angeboten. Von Vorteil ist, dass sich Kugelgewindetriebe mit einem robusten Schrittmotorantrieb kombinieren lassen, der wahlweise auch mit Unsere ganze Kompetenz in einer Systemlösung. alpha Linear Systems: Dynamisch. Präzise. Individuell. Die Positioniersysteme mit den Miniaturkugelgewindetrieben decken ein breites Anwendungsspektrum ab: von der Medizintechnik über die Biotechnologie bis hin zur Halbleitertechnik Haben Sie an den linearen Antrieb ganz individuelle Anforderungen in Bezug auf Laufruhe, Positioniergenauigkeit und Vorschubkraft? Dann haben wir für Sie die optimal abgestimmte Lösung. Es ist nicht allein die Kopplung von Getriebe, Ritzel und Zahnstange, sondern unser Know-how in der überzeugenden, individuellen Systemlösung. Wir beraten Sie gerne: Tel. +49 7931 493-0 WITTENSTEIN alpha – intelligente Antriebssysteme www.wittenstein-alpha.de

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